仪器货号

463-152

X/Y轴行程

0-200mm / 0-100mm

Z轴

调焦有效行程140mm

主显微镜立柱左右偏摆±12°，倾斜角度分度值30′

X/Y轴光栅尺

进口英国雷尼绍钢带金属光栅尺，分辨率0.2um

X/Y轴传动系统

采用船型研磨导轨，通过导向轴承和承载轴承工作；

操作方式

手动移动

测量精度

X/Y轴：E1x/y≤1.0+L/100(um)

测量重复性

1um

工作台

外型尺寸：260*270mm

载重：40Kg

载物玻璃尺寸：214*130mm

光源系统

LED表面光源

LED底光源

LED测角目镜光源

LED分度头光源

视野大小(mm)（10倍目镜倍数）

物镜倍数

1X

  3X

                 5X

放大倍数

10X

   30X

                  50X

工作距离

79mm                               69mm                    49mm

成像直径

Ø20mm                            Ø6.6mm                   Ø4mm

测量目镜描述

测角目镜

角度分划范围0-360°，角度分度值1′

圆弧轮廓目镜

角度分划范围±7°，角度分度值10′，测量范围R0.1-R50mm

光学分度头

角度分划范围：0-360°，角度分度值1′

顶针装置

最大夹持直径Ø100mm时，夹持最大长度为700mm

光学定位器

测杆Z向摆动范围

±3°

  最小探测孔径

Ø5mm

  最大探测深度

15mm

 定位变动性

1 um

   测量力

0.10±0.03N

工作环境

温度：20°±1°C；

湿度：45% ～75%RH

振动<0.002g，＜15Hz

测量软件

Sinowon 3.0二维测量软件

操作系统

支持WIN10, 64位操作系统

操作语言

英文、简体中文

电源

AC 220V/50Hz/10A

外形尺寸(W*D*H)

1310*1250*798mm

净重

440Kg