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直线型光栅尺MSA系列 MSA5

一、MSA的应用范围:
直线光栅尺广泛适用于各种机床和仪器,如铣床、车床、镗床、磨床、小孔机、线切割机、加工中心、投影仪、工具显微镜、影像测量仪等等。直线光栅尺的动态性能好,运动速度快,可靠性好,它不仅能够满足常规轴动态性能的要求,也能够满足直接驱动设备的高动态性能的要求。
最大有效长度≤600mm,主要应用于对环境如湿度、温度、电磁干扰等要求较高的精密仪器如轮廓投影仪、工具显微镜、影像测量仪等设备。用于对安装位置有限制的设备。
最大有效长度≤600mm,主要应用于对环境如湿度、温度、电磁干扰等要求较高的精密仪器如轮廓投影仪、工具显微镜、影像测量仪等设备。用于对安装位置有限制的设备。
● 采用先进的玻璃光栅镀膜复制技术,保证主、副光栅测量基准:玻璃栅距的精确性;
● 采用进口电子元器件和运用最新的SMT芯片贴装技术,确保每只尺的电子元件经久耐用;
● 读数头滑动部分采用可靠、耐用的五轴承设计,保证光学感应系统能长期稳定地在光栅尺上顺畅滑行;
● 采用耐油、高弹性及抗老化的双层塑胶密封条,保证最佳的密封性能和最少的摩擦阻力;
● 采用精密的定位弹簧,确保光学感应系统即使在高速运动的情况下,滑车都能紧贴在主光栅上无跳动地滚动;
● 每只尺从玻璃、电子元件、密封条到蛇皮管都经过严格的仪器检验,以确保每只尺都能通过出厂激光干涉仪的检验。
三、MSA输出信号图:
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三、MSA输出信号图:

四、MSA安装尺寸:

五、MSA技术参数:
名称 | 直线型光栅尺MSA系列 | ||||
型号 | MSA5 | MSA1 | MSA0.5 | MSA0.2 | MSA0.1 |
分辨率 | 5μm | 1μm | 0.5μm | 0.2μm | 0.1μm |
最大工作距离 | 60m/min | 20m/min | 10m/min | ||
光栅栅距 | 20μm(50线) | 10μm(100线) | |||
输出信号 | TTL,RS422 | ~1Vpp | |||
光栅测量系统 | 透射式红外光学测量系统,红外线波长:880μm | ||||
有限行程 | 25~600mm | ||||
读数头滚动系统 | 垂直式五轴承滚动系统 | ||||
工作电压 | 5V±5%DC | ||||
工作环境 | 温度:-10~45°C; 湿度:≤90% | ||||
准确度 | 50≤ML≤500mm: 标准型:±5μm;精密型: ±3μm | ||||
510≤ML≤600mm: 标准型: ±8μm ;精密型: ±5μm
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六、MSA系统主要参数:
型号 | 分辨率 | 有效行距 | 最大工作速度 | 准确度 | |||
50-500mm | 510-600mm | ||||||
标准 | 精密 | 标准 | 精密 | ||||
MSA5 | 5um | 50-600mm | 60m/min | ±5um | ±3um | ±8um | ±5um |
MSA1 | 1um | 50-600mm | 20m/min | ±5um | ±3um | ±8um | ±5um |
MSA0.5 | 0.5um | 50-600mm | 10m/min | ±5um | ±3um | ±8um | ±5um |
MSA0.2 | 0.2um | 50-600mm | 10m/min | ±5um | ±3um | ||
MSA0.1 | 0.1um | 50-600mm | 10m/min | ±5um | ±3um |
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