测量显微镜
工具显微镜 STM-3020A 532-160




STM-3020(#532-160)

工具显微镜STM-3020A系列特点:
▶   底座——铸铁基座保证整体稳定性。
▶   光源——高亮度长寿命LED照明系统。
▶   传动——采用无间隙丝杠传动载物台,保证测量精度。
▶   导轨——采用德国线形高精度导轨。
▶   调焦——特有粗、微调焦装置,微调最小每格1um。
▶   载物台——高精度2.0+L/200um(L为测量长度)。
 


 
技术参数:
名称 工具显微镜 工具显微镜
型号 STM-2015A STM-3020A
货号# 532-150 532-160
X ,Y轴坐标行程 200x150mm 300x200mm
分辨率 0.5um
锁紧装置 X-Y采用精密丝杠传动,工作台带快慢速锁紧装置,无任何回程误差产生
X/Y轴精度 (2+L/200) μm;  L: 测量长度
镜筒 反像 (可选正像三目镜筒)
目镜 双目广角目镜WF10X/22mm
物镜 标配5X; 可选: 10X, 20X,50X,100X
透射光源 可调LED光源
表面光源 可调LED光源
Z-轴行程 标配行程:150mm, 可选200mm行程
调焦方式 手动调焦 (粗调/微调)
数显表功能 清零, 方向置换
仪器电源 AC220/50HZ; AC110V/60Hz
可选附件 高精度旋转工作台 RT4(D:165mm), RT5(262mm)
数据处理器DP300
测量软件 QM2.0
0.5X适配镜和CCD相机


光学参数:
名称 物镜 目镜WF10/22
数值孔径
N.A.
有效工作距离
W.D.(mm)
焦距
f(mm)’
分辨率
R(um)
景深
±△p(um)
总放大倍数 物方视场
(mm)
5x 0.15 11.6 40 2.1 16.3 50x ¢4.4
10x 0.3 6.3 20 0.9 3.1 100x ¢2.2
20x 0.4 10.3 10 0.69 1.8 200x ¢1.1
50x 0.8 2 4 0.34 0.4 500x ¢0.44
100x 0.8 1.96 2 0.34 0.2 100x ¢0.22

CCD芯片
晶源观察

POG观察
工具显微镜STM-3020A
IC封装



 

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